一種拋光載具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023276732.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215148064U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215148064U 申請公布日 2021-12-14
分類號 B24B37/10（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 陳文鵬;張潔;林武慶;葉智荃 申請（專利權(quán)）人 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 楊鵬
地址 410000湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)長沙岳麓西大道2450號環(huán)創(chuàng)園B1棟2405房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種拋光載具，涉及晶體生長技術(shù)領(lǐng)域。拋光載具包括底板及擋環(huán)，擋環(huán)安裝在底板上，擋環(huán)與底板形成安裝槽，安裝槽用于安裝樣品，擋環(huán)采用彈性材料制成，可調(diào)節(jié)安裝槽的深度。在本實用新型實施例中，擋環(huán)安裝在底板上，并與底板形成安裝槽，可以理解的是，擋環(huán)的厚度即為安裝槽的深度，調(diào)節(jié)擋環(huán)的厚度即可調(diào)節(jié)安裝槽的深度。擋環(huán)采用彈性材料制成，可以調(diào)節(jié)擋環(huán)的厚度，從而來調(diào)節(jié)安裝槽的深度，以適應(yīng)不同厚度的樣品。在本實用新型實施例中，同一個拋光載具可以多種厚度的樣品，在同時進(jìn)行不同厚度的樣品交叉加工時，可以不用拆換拋光載具，方便了樣品的加工，加快了樣品的加工速度，同時降低了成本。