多通道離子源產生裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811626775.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109786203B 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN109786203B 申請公布日 2021-04-20
分類號 H01J37/32(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱巖;王文寶;周敏;李軍旗 申請（專利權）人 基準精密工業(yè)（惠州）有限公司
代理機構 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司 代理人 汪飛亞;薛曉偉
地址 516100廣東省惠州市博羅縣龍溪鎮(zhèn)夏寮村委會大門村小組十二溝地段
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多通道離子源產生裝置，包括：熱電子發(fā)生器以及與熱電子發(fā)生器相連通的電離腔室，所述熱電子發(fā)生器能產生并輸送熱電子至電離腔室，所述電離腔室側壁設置有多個獨立的進氣通道以及與進氣通道一一對應的射出通道，經所述熱電子發(fā)生器產生的熱電子或者經所述電離腔室產生的離子能經多個所述射出通道射出。??