一種拋光墊及半導(dǎo)體器件的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111089592.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113524022A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113524022A 申請公布日 2021-10-22
分類號 B24B37/22;B24B37/24;B24B37/26;B24B37/005;B24B49/00;H01L21/3105 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 黃學(xué)良;邱瑞英;楊佳佳;張季平;朱順全 申請（專利權(quán)）人 湖北鼎匯微電子材料有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 430057 湖北省武漢市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)東荊河路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件的制造方法，該方法包括使用具有特定圖案的拋光墊對半導(dǎo)體晶片表面進行研磨的工序；本發(fā)明還公開了一種拋光墊，所述拋光墊包括拋光層，拋光層包括拋光表面和位于拋光表面上的拋光單元，拋光單元的一端形成接觸表面，接觸表面與被研磨材料直接接觸；多個拋光單元分別組成第一部分和第二部分，第一部分沿第一個方向延伸并均勻間隔，第二部分沿與第一個方向平行的方向延伸并均勻間隔；并且，拋光層還具有凹坑，且包括第一部分凹坑和第二部分凹坑；本發(fā)明拋光墊限定拋光單元面積比，凹坑面積占比，體積比等參數(shù)在合適范圍時，具有優(yōu)異的綜合性能。