檢測窗口、化學(xué)機(jī)械拋光墊及拋光系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110834098.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113478382A 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113478382A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) B24B37/20（2012.01）I;B24B37/04（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王騰;劉敏;羅乙杰;王淑芹;楊浩;林文多 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖北鼎匯微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 430057湖北省武漢市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)東荊河路1號(hào)411號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了涉及化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域的檢測窗口、化學(xué)機(jī)械拋光墊及拋光系統(tǒng)。本發(fā)明檢測窗口設(shè)置在拋光層中，包括透光部和加強(qiáng)部，透光部下表面設(shè)置凹陷區(qū)域，加強(qiáng)部位于凹陷區(qū)域內(nèi)，加強(qiáng)部與透光部一體成型或粘合為一體；所述加強(qiáng)部設(shè)置鏤空部分，0＜鏤空部分橫截面積≤凹陷區(qū)域橫截面積的80％；進(jìn)一步地，所述加強(qiáng)部中部鏤空和/或邊緣鏤空，優(yōu)選為加強(qiáng)部中部鏤空、互不連通的加強(qiáng)部中部鏤空和邊緣鏤空。本發(fā)明提供的檢測窗口，窗口強(qiáng)度提高，壓縮比減小，能有效降低晶圓劃傷，并且提高拋光墊使用壽命。