一種拋光墊

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120177695.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214322989U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN214322989U 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) B24B37/26（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 黃學(xué)良;蔡長(zhǎng)益;羅乙杰;桂輝輝;劉敏;楊佳佳;邱瑞英;張季平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖北鼎匯微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 430057 湖北省武漢市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)東荊河路1號(hào)411號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種拋光墊，包括拋光層，所述拋光層包括拋光表面和位于拋光表面上的拋光單元，所述拋光單元至少為一個(gè)，拋光單元組成拋光單元群，拋光單元群的一端形成接觸表面，接觸表面與被研磨材料直接接觸，每個(gè)拋光單元在接觸表面投影為平行四邊形；多個(gè)拋光單元分別組成第一部分和第二部分，第一部分沿第一方向延伸并均勻間隔，第二部分沿與第一方向平行的方向延伸并均勻間隔；并且，拋光單元的接觸表面的面上具有通道，且包括第一通道和第二通道；本實(shí)用新型拋光墊的結(jié)構(gòu)與限定的拋光單元面積比，有效面積比、有效通道體積比以及有效通道的寬度比等參數(shù)相結(jié)合時(shí)，具有優(yōu)異的綜合性能。