一種拋光墊

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023294359.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214351683U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214351683U 申請公布日 2021-10-08
分類號 B24B37/26（2012.01）I;B24B37/22（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 劉敏;黃學良;邱瑞英;王騰;楊佳佳;張季平 申請（專利權(quán)）人 湖北鼎匯微電子材料有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 430057湖北省武漢市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)東荊河路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種拋光墊，包括研磨層，所述研磨層包括至少兩個同心圓溝槽，定義最內(nèi)側(cè)的同心圓溝槽為第一同心圓，最外側(cè)的同心圓溝槽為第二同心圓；第一同心圓和第二同心圓界定多個研磨區(qū)域，由圓心到研磨層邊緣三個研磨區(qū)的寬度依次為W1,W2,W3，W1/R的范圍為0.01?0.10，W2/R的范圍為0.77?0.96，W3/R的范圍為0.03?0.13，本實用新型通過對拋光墊的不同研磨區(qū)及其溝槽的相關(guān)參數(shù)進行綜合設(shè)計，使得本實用新型的拋光墊具有優(yōu)異的綜合性能。