一種高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810400974.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108642457B | 公開（公告）日 | 2018-10-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108642457B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-10-12 |
| 分類號(hào) | C23C14/34(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李鵬;李家旺;付立政 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖南有色新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)沙永星專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 周詠 |
| 地址 | 410200湖南省長(zhǎng)沙市望城經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)金星路99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法，該生產(chǎn)方法包括：1、將兩種粒徑范圍不同的鉬粉在真空條件下混合，過(guò)篩后得到混合粉料；2、將混合粉料進(jìn)行等靜壓處理；3、燒結(jié)處理；4、熱軋?zhí)幚恚?；真空退火；6、水切割、銑削加工、磨床加工。通過(guò)該方法得到的鉬靶材的長(zhǎng)度可達(dá)3500mm以上，厚度≤30mm，寬度≤600mm，平面度小于0.08mm，鉬含量≥99.97％，該生產(chǎn)方法的生產(chǎn)效率高，所得高世代鉬靶材的致密度≥99.5％，鉬靶材內(nèi)部組織無(wú)氣孔、裂紋、分層、夾雜等缺陷，其表面粗糙度＜0.6um，平均晶?！?0um，晶粒均勻，可作為G10.5代線平面顯示器生產(chǎn)的高純鉬靶；本發(fā)明提供的高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法，制備方法簡(jiǎn)單，生產(chǎn)成本較低，成品率高，有利于工業(yè)化生產(chǎn)。?? |
