一種光柵橫向剪切干涉波前重建過(guò)程中的補(bǔ)償方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110720859.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113432731B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113432731B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-28 |
| 分類號(hào) | G01J9/02（2006.01）I;G01J9/00（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李鵬;唐鋒;王向朝;盧云君;劉洋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海恒慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201800上海市嘉定區(qū)清河路390號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種光柵橫向剪切干涉波前重建過(guò)程中光瞳坐標(biāo)畸變和剪切量變化的同時(shí)補(bǔ)償方法。波前經(jīng)過(guò)光柵衍射后各級(jí)次衍射波前的形狀及光路均不相同，使得一方面探測(cè)器平面檢測(cè)到的坐標(biāo)系相對(duì)光瞳坐標(biāo)系存在畸變，另一方面剪切量隨著坐標(biāo)位置發(fā)生變化。該方法通過(guò)追跡各級(jí)次衍射波前的光路，計(jì)算得出待測(cè)波前在光瞳面內(nèi)的坐標(biāo)系與各級(jí)次衍射波前在探測(cè)器面內(nèi)的坐標(biāo)系之間的變換關(guān)系；由該坐標(biāo)系變換關(guān)系可以得知探測(cè)器面上各個(gè)位置處檢測(cè)到的剪切相位與待測(cè)波前中相位的對(duì)應(yīng)關(guān)系，進(jìn)而可以構(gòu)建對(duì)應(yīng)的波前多項(xiàng)式集合，并通過(guò)擬合的方式得到待測(cè)波前的多項(xiàng)式擬合結(jié)果，同時(shí)補(bǔ)償光瞳坐標(biāo)系畸變和剪切量變化。 |
