一種包括光源陣列的光學檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810814330.2 申請日 -
公開（公告）號 CN108918418A 公開（公告）日 2018-11-30
申請公布號 CN108918418A 申請公布日 2018-11-30
分類號 G01N21/01;G01N21/84 分類 測量；測試;
發(fā)明人 邵科 申請（專利權(quán)）人 江蘇景源泓科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 214400 江蘇省無錫市江陰市金山路201號創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園數(shù)碼港B座5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種包括光源陣列的光學檢測裝置，所述光源陣列包括多個可單獨電控制的電光源，這些電光源以矩陣結(jié)構(gòu)或任何其他限定的幾何布置排列，有利地，光源陣列的像素間距小于500納米。本發(fā)明的一種包括光源陣列的光學檢測裝置，其允許具有較低復雜光學系統(tǒng)的“正常”(衍射受限)光學分辨率光學和超分辨率，并且可以用較少復雜光學系統(tǒng)實現(xiàn)超分辨率。