AlGaN基深紫外LED外延片

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021484612.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN212323022U 公開(kāi)(公告)日 2021-01-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN212323022U 申請(qǐng)公布日 2021-01-08
分類(lèi)號(hào) H01L33/10(2010.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 高芳亮;楊金銘 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 深圳市昂德環(huán)球科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市精英專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 深圳市昂德環(huán)球科技有限公司
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新區(qū)社區(qū)高新南九道45號(hào)西北工業(yè)大學(xué)三航科技大廈16層1611
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了AlGaN基深紫外LED外延片,其中,所述AlGaN基深紫外LED外延片包括:碳化硅襯底、沉積在所述碳化硅襯底上的Ag層、生長(zhǎng)在所述Ag層上的AlN緩沖層、生長(zhǎng)在所述AlN緩沖層上的AlGaN緩沖層、生長(zhǎng)在所述AlGaN緩沖層上的非摻雜AlGaN層、生長(zhǎng)在所述非摻雜AlGaN層上的n型摻雜AlGaN層、生長(zhǎng)在所述n型摻雜AlGaN層上的AlGaN多量子阱層、生長(zhǎng)在所述AlGaN多量子阱層上的電子阻擋層和生長(zhǎng)在所述電子阻擋層上的p型摻雜GaN薄膜。本實(shí)用新型無(wú)需采用剝離工藝,外量子效率得到大幅提升;能減少位錯(cuò)的形成,提高了載流子的輻射復(fù)合效率,可得到高導(dǎo)熱、高導(dǎo)電、高發(fā)光性能深紫外LED;深紫外LED電流分布更加均勻,提高出光效率,同時(shí)具有良好的散熱能力。??