一種ALD前驅(qū)體鈦配合物的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111045360.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113493476B 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN113493476B 申請公布日 2021-11-30
分類號 C07F7/28（2006.01）I 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 陳鵬宇 申請（專利權(quán)）人 蘇州源展材料科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 蘇張林
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)12棟4樓401-177
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種ALD前驅(qū)體鈦配合物的制備方法，包括以下步驟：（1）將2,2,6,6?四甲基?3,5?庚二酮、四氯化鈦與有機溶劑混合均勻，滴入有機胺，在攪拌的條件下發(fā)生反應；（2）反應結(jié)束后，向反應液中滴加異丙醇，攪拌后過濾，去除沉淀物；（3）減壓蒸干濾液，即得到所述ALD前驅(qū)體鈦配合物。本發(fā)明的工藝操作條件便利，一鍋法得到目標產(chǎn)物；反應過程平和，無需加熱，能耗低，安全性高；原料來源廣泛便宜，產(chǎn)物收率高，工藝穩(wěn)定性好；反應過程中沒有引入其他金屬元素（鈦除外），得到的產(chǎn)品金屬純度高，符合ALD技術(shù)的要求。