一種ALD前驅(qū)體的合成系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202121458405.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214915953U | 公開（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申請公布號(hào) | CN214915953U | 申請公布日 | 2021-11-30 |
| 分類號(hào) | B01J19/00（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 周健;婁夏冰 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州源展材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳竹慧 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)12棟4樓401 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種ALD前驅(qū)體的合成系統(tǒng)，包括預(yù)處理裝置、反應(yīng)環(huán)路和接收裝置；所述預(yù)處理裝置位于反應(yīng)環(huán)路的上方；所述反應(yīng)環(huán)路通過反應(yīng)管與預(yù)處理裝置連通，以將預(yù)處理后的物料傳輸至反應(yīng)環(huán)路進(jìn)行反應(yīng)；所述反應(yīng)環(huán)路上連接有脫溶組件以對反應(yīng)環(huán)路中的物料進(jìn)行脫溶；所述接收裝置位于反應(yīng)環(huán)路的下方，所述接收裝置通過連接管與反應(yīng)環(huán)路連通，以使脫溶后的物料落入所述接收裝置中。其能夠針對ALD前驅(qū)體進(jìn)行可連續(xù)化的合成，自動(dòng)化程度較高；物料在反應(yīng)環(huán)路內(nèi)循環(huán)并反應(yīng)，反應(yīng)后形成的產(chǎn)品能夠直接落入接收裝置中，生產(chǎn)安全，可實(shí)現(xiàn)隨開隨用的連續(xù)化生產(chǎn)。 |
