一種可調(diào)光學(xué)相位陣列的制作方法及可調(diào)光學(xué)相位陣列

基本信息

申請?zhí)?/td> PCT/CN2019/109092 申請日 -
公開（公告）號 WO2021056545A1 公開（公告）日 2021-04-01
申請公布號 WO2021056545A1 申請公布日 2021-04-01
分類號 G02F1/11;G02F1/01 分類 光學(xué);
發(fā)明人 ZHANG, ZHONGXIANG;張忠祥 申請（專利權(quán)）人 深圳力策科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 SHENZHEN ZHONGYI UNION INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.;深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
地址 Room 802, Block A, National Engineering Lab Building,Digital Technology Park, Gaoxin South 7th Road, District of High-Tech Industrial Park, Nanshan District,Shenzhen, Guangdong 518000 CN
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種可調(diào)光學(xué)相位陣列的制作方法及可調(diào)光學(xué)相位陣列，可調(diào)光學(xué)相位陣列包括：襯底層(10)、分布式布拉格反射器(20)、支撐層(30)、壓電層(40)、天線陣列(60)以及用于對相位控制信號與表面波進行相互轉(zhuǎn)換的換能器模塊(50)；采用天線陣列(60)與分布式布拉格反射器(20)形成法布里珀羅諧振腔，通過換能器模塊(50)將信號源輸出的相位控制信號轉(zhuǎn)換為表面波，并通過壓電層(40)將表面波傳導(dǎo)至天線陣列(60)中，以使法布里珀羅諧振腔產(chǎn)生對應(yīng)的振蕩，從而對天線陣列(60)的出射相位進行調(diào)節(jié)，達到對光束進行操控的目的。