半導(dǎo)體制造工藝中的自動(dòng)缺陷去除方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110377371.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112927170A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112927170A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | G06T5/00;G06T7/00;G06T7/70 | 分類(lèi) | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 賈德禮;陳湘芳 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海哥瑞利軟件股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 輦甲武 |
| 地址 | 200000 上海市閔行區(qū)園文路28號(hào)318室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造工藝中的自動(dòng)缺陷去除方法，包括：步驟一、代操服務(wù)器通過(guò)KVM獲得制造機(jī)臺(tái)拍攝到的產(chǎn)品缺陷照片信息；步驟二、代操服務(wù)器向NGINX代理發(fā)送圖像識(shí)別請(qǐng)求，NGINX通過(guò)負(fù)載均衡的方式向圖像識(shí)別引擎發(fā)送識(shí)別任務(wù)；步驟三、圖像識(shí)別引擎根據(jù)代操服務(wù)器獲得的缺陷圖片通過(guò)人工智能算法對(duì)缺陷進(jìn)行定位和類(lèi)別識(shí)別；步驟四、將識(shí)別結(jié)果信息通過(guò)NGINX發(fā)送給代操服務(wù)器，代操服務(wù)器根據(jù)提前設(shè)置的缺陷消除類(lèi)別規(guī)則，通過(guò)KVM控制制造機(jī)臺(tái)將特定的缺陷類(lèi)別進(jìn)行激光消除。本發(fā)明的半導(dǎo)體制造工藝中的自動(dòng)缺陷去除方法，能夠有效提高產(chǎn)品生產(chǎn)和操作的效率，進(jìn)一步提高生產(chǎn)流程的自動(dòng)化水平。 |
