平臺(tái)移動(dòng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110608113.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113315411A 公開（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113315411A 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) H02N2/02（2006.01）I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 左蕾;王振華;黃孝山;許良 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海上谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳程;蔡繼清
地址 200135上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種平臺(tái)移動(dòng)裝置。本發(fā)明中，平臺(tái)移動(dòng)裝置包括：底板；基座，設(shè)置在底板的上方；至少三個(gè)尺蠖電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)基座，以帶動(dòng)位于基座上方的平臺(tái)移動(dòng)；尺蠖電機(jī)設(shè)置在底板上，且尺蠖電機(jī)中至少三個(gè)不共線；各尺蠖電機(jī)的輸出方向一致；以及，至少三個(gè)壓電陶瓷致動(dòng)器，用于驅(qū)動(dòng)平臺(tái)；壓電陶瓷致動(dòng)器與基座相連，且壓電陶瓷致動(dòng)器中至少三個(gè)不共線；各壓電陶瓷致動(dòng)器的輸出方向與尺蠖電機(jī)的輸出方向相同。與現(xiàn)有技術(shù)相比，使得可在真空、無磁條件中使用，且滿足大行程位移量和微米級(jí)、納米級(jí)位移調(diào)整。