一種磁懸浮旋轉運動裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110710564.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113422539A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113422539A 申請公布日 2021-09-21
分類號 H02N15/00（2006.01）I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 胡兵;陳懋毓 申請（專利權）人 上海隱冠半導體技術有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 陳宏
地址 200135上海市浦東新區(qū)自由貿易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體集成電路裝備技術領域，公開一種磁懸浮旋轉運動裝置。其中磁懸浮旋轉運動裝置包括磁懸浮轉子機構、磁懸浮定子機構和測量機構，磁懸浮轉子機構包括同軸設置的姿態(tài)調整轉子組件和旋轉轉子組件；磁懸浮定子機構包括同軸設置的姿態(tài)調整定子組件和旋轉定子組件，姿態(tài)調整定子組件在豎直方向對應于姿態(tài)調整轉子組件，姿態(tài)調整定子組件設置為能夠驅動姿態(tài)調整轉子組件進行懸浮姿態(tài)調整；旋轉定子組件對應于旋轉轉子組件，旋轉定子組件設置為能夠驅動旋轉轉子組件進行懸浮旋轉；測量機構設置為對磁懸浮轉子機構進行懸浮狀態(tài)測量和旋轉狀態(tài)測量。