一種納米壓印模具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720574235.0 申請日 -
公開(公告)號 CN206833140U 公開(公告)日 2018-01-02
申請公布號 CN206833140U 申請公布日 2018-01-02
分類號 G03F7/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王笑;劉建哲;潘安練;褚君尉;朱小莉;祝小林;徐良 申請(專利權(quán))人 黃山博藍特光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 深圳市百瑞專利商標事務(wù)所(普通合伙) 代理人 黃山博藍特光電技術(shù)有限公司
地址 245000 安徽省黃山市迎賓大道168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種納米壓印模具,包括上滾輪和下滾輪,所述上滾輪為石英材質(zhì)的滾輪,所述上滾輪的中心設(shè)置有安裝孔,安裝孔內(nèi)設(shè)置有紫外光源,沿紫外光源的發(fā)光方向設(shè)置有微透鏡,所述上滾輪的表面包覆有一層柔性壓印模板;所述下滾輪為橡膠材質(zhì)的滾輪,上滾輪和下滾輪間留有間隙,上滾輪和下滾輪的轉(zhuǎn)動方向相反,轉(zhuǎn)動線速度相同。本實用新型實現(xiàn)了壓印和固化的同步完成,解決了傳統(tǒng)技術(shù)先壓印再固化,搬運過程中襯底片容易受到污染,表面顆粒物增加,導致產(chǎn)品良率低,返工率較高的問題,同時,也大大減小了設(shè)備的占地面積和成本。可廣泛應用于納米壓印領(lǐng)域。