一種晶圓片位錯(cuò)圖像采集裝置及其采集方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110577927.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113298068A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113298068A 申請公布日 2021-08-24
分類號 G06K9/20;G01B11/06 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 康鴻明;林志鵬;林文垚;盧甲貞;陳靖世 申請（專利權(quán)）人 廈門彼格科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 代理人 張松亭;吳曉梅
地址 361000 福建省廈門市集美區(qū)集美大道1300號廈門產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院（創(chuàng)新大廈）11層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓片位錯(cuò)圖像采集裝置及其采集方法，采集裝置包括機(jī)臺、支撐件、控制終端、圖像顯示器、位于支撐件上方并能相對支撐件上的晶圓片平行相對運(yùn)動(dòng)的距離采集單元、位于支撐件上方并能相對支撐件上的晶圓片平行相對運(yùn)動(dòng)且能相對支撐件上的晶圓片垂直相對運(yùn)動(dòng)的圖像采集單元，距離采集單元、圖像采集單元、圖像顯示器均與控制終端電性連接。通過該采集裝置實(shí)現(xiàn)晶圓盤上單點(diǎn)及多點(diǎn)、全片的全自動(dòng)位錯(cuò)圖像采集，無需人工參與，避免晶圓片在采集過程中損害，提高晶圓片位錯(cuò)圖像的采集效率及晶圓片的檢測效率。