一種電遷移測(cè)試方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110012866.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112834911B 公開（公告）日 2022-05-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN112834911B 申請(qǐng)公布日 2022-05-03
分類號(hào) G01R31/28（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 尹鵬躍;張水英 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海燧原智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)業(yè)盛路188號(hào)A-522室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種電遷移測(cè)試方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)。其中，該方法包括：根據(jù)芯片中的待測(cè)試鏈路的仿真模型，確定待測(cè)試鏈路的標(biāo)準(zhǔn)電阻；根據(jù)電遷移仿真測(cè)試過程中的多組仿真測(cè)試數(shù)據(jù)確定待測(cè)試鏈路的失效時(shí)間計(jì)算公式；確定與待測(cè)試鏈路對(duì)應(yīng)的多組電遷移測(cè)試條件；控制電遷移測(cè)試系統(tǒng)對(duì)與待測(cè)試鏈路對(duì)應(yīng)的電遷移測(cè)試樣品進(jìn)行電遷移測(cè)試，得到與各組電遷移測(cè)試條件對(duì)應(yīng)的測(cè)試樣品失效時(shí)間；根據(jù)各組電遷移測(cè)試條件中的預(yù)期失效時(shí)間與所對(duì)應(yīng)的測(cè)試樣品失效時(shí)間的比對(duì)結(jié)果，確定待測(cè)試鏈路的電遷移測(cè)試結(jié)果。本發(fā)明實(shí)施例可以對(duì)芯片中的鏈路進(jìn)行電遷移測(cè)試，確定芯片中各鏈路的整個(gè)鏈路結(jié)構(gòu)的電遷移實(shí)際情況。