一種冷卻背板及磁控濺射鍍膜設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420597869.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204529966U 公開(kāi)（公告）日 2015-08-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN204529966U 申請(qǐng)公布日 2015-08-05
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭柱根 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 海南行佰新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 海南漢能光伏有限公司;漢能移動(dòng)能源控股集團(tuán)有限公司
地址 570125 海南省?？谑旋埲A區(qū)濱海大道103號(hào)財(cái)富廣場(chǎng)20層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種冷卻背板，應(yīng)用于磁控濺射鍍膜設(shè)備中，所述冷卻背板用于將冷卻水和靶材相隔離，所述冷卻背板與冷卻水接觸的表面上設(shè)置有多個(gè)凸起結(jié)構(gòu)。由于所述冷卻背板與所述冷卻水接觸的一面設(shè)置有多個(gè)凸起結(jié)構(gòu)，從而導(dǎo)致所述冷卻背板與冷卻水的接觸面積增大，導(dǎo)致所述冷卻水與所述冷卻背板3之間的熱交互效果顯著增強(qiáng)，使得所述靶材的溫度顯著降低。