一種時(shí)分復(fù)用曝光光源

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010405848.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111505911A 公開(kāi)（公告）日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN111505911A 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類號(hào) G03F7/20 分類 -
發(fā)明人 張博;李康 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河南百合特種光學(xué)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 新鄉(xiāng)市平原智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 河南百合特種光學(xué)研究院有限公司
地址 453000 河南省新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東大道166號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種時(shí)分復(fù)用曝光光源，包括脈沖光線出射組件、勻光模塊、準(zhǔn)直透鏡組、轉(zhuǎn)向棱鏡組、數(shù)字微反射鏡、投影鏡頭和曝光臺(tái)面，該時(shí)分復(fù)用曝光光源通過(guò)脈沖出射組件中相鄰紫外光源的脈沖間隔同數(shù)字微反射鏡工作狀態(tài)切換的脈沖間隔匹配，可以有效消除曝光臺(tái)面的“拖影”現(xiàn)象，提高曝光質(zhì)量，同時(shí)，工作在脈沖模式的光源可以通過(guò)控制占空比獲得較大的脈沖能量輸出，多光源按時(shí)間先后依次曝光，進(jìn)一步降低了曝光光源的占空比，有利于光源的過(guò)載保護(hù)和有效散熱，可以獲得穩(wěn)定的光功率輸出。