一種大功率多波段曝光光源
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010345413.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111458988A | 公開（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111458988A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-28 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張博;李康;王艷軍;陳龍飛;劉琴 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河南百合特種光學(xué)研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 新鄉(xiāng)市平原智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 河南百合特種光學(xué)研究院有限公司 |
| 地址 | 453000河南省新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)新東大道166號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種大功率多波段曝光光源，包括多波段UV?LED光源模組、激光光源模組、合光器、整形器件組、光學(xué)積分器和曝光組件；以多波段UV?LED環(huán)形光斑和激光光斑耦合的方式實(shí)現(xiàn)臺(tái)面的平行光曝光，可以實(shí)現(xiàn)臺(tái)面不同波段的大功率輸出，能夠顯著提升曝光的質(zhì)量，還可以實(shí)現(xiàn)不同紫外工作波段的快速切換，對(duì)于臺(tái)面不同類型光刻膠及不同曝光能量的需求具有更好的適用性。?? |
