超大規(guī)模集成電路超凈生產(chǎn)環(huán)境系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922065269.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212006019U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN212006019U | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | F24F3/16(2006.01)I | 分類 | 供熱；爐灶；通風; |
| 發(fā)明人 | 蔣乃軍 | 申請（專利權）人 | 江蘇蘇凈工程建設有限公司 |
| 代理機構 | 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 張川 |
| 地址 | 215122 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯新路2號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型屬于潔凈室技術領域，具體涉及一種超大規(guī)模集成電路超凈生產(chǎn)環(huán)境系統(tǒng)，包括潔凈區(qū)和空調機房，潔凈區(qū)在不同潔凈間設置有第一高架地板和/或第二高架地板，第一高架地板為多孔板，第二高架地板為盲孔板；空調機房內設置有與新風空調相連通的風機過濾機組，該風機過濾機組包括設置不同潔凈間的不同風機過濾單元，以分別調節(jié)風量。通過風機過濾機組和新風空調配合使用，可以根據(jù)潔凈區(qū)內各潔凈間的實際需要設定新風空調的功率、風機過濾單元設置方式，因而可調節(jié)潔凈區(qū)內不同潔凈間的壓力分布、溫濕度等，同時使?jié)崈魠^(qū)具有更高潔凈度，降低了運行費用，改善了工作環(huán)境，為超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)提供了超凈環(huán)境。?? |
