一種兼容大小鍵合力高速高精度緊湊型鍵合頭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911392999.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111128774A 公開（公告）日 2020-05-08
申請公布號 CN111128774A 申請公布日 2020-05-08
分類號 H01L21/603 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李玫;陳民杰;朱樹存 申請（專利權(quán)）人 嘉興景焱智能裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州永航聯(lián)科專利代理有限公司 代理人 俞培鋒
地址 314100 浙江省嘉興市嘉善縣羅星街道歸谷二路33號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種兼容大小鍵合力高速高精度緊湊型鍵合頭，包括本體，所述本體包括：氣缸，所述氣缸的內(nèi)部形成一中空的第一腔體，所述氣缸上還開設(shè)有真空連接孔；活塞，所述活塞設(shè)置于第一腔體內(nèi)；力矩電機(jī)，所述力矩電機(jī)為中空力矩電機(jī)，所述力矩電機(jī)的動子與氣缸的缸壁相連接；柔性鉸鏈，所述柔性鉸鏈的外周與所述氣缸的缸壁相連接，所述柔性鉸鏈的中心部位與活塞相連；主軸，所述主軸為中空結(jié)構(gòu)，所述主軸與所述活塞同軸連接；真空吸盤，與所述主軸相連接；旋轉(zhuǎn)時，力矩電機(jī)的動子旋轉(zhuǎn)通過柔性鉸鏈的外周傳至中心，氣缸的缸壁與活塞同時旋轉(zhuǎn)，帶動主軸一起旋轉(zhuǎn)，并通過旋轉(zhuǎn)編碼器給出反饋。