一種生物電子芯片及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910995677.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110672700B | 公開（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110672700B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-03 |
| 分類號(hào) | G01N27/414（2006.01）I;H01L29/778（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 盧瀚侖;陳志濤;劉寧煬;任遠(yuǎn);梁錫輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 510000廣東省廣州市天河區(qū)長(zhǎng)興路363號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N生物電子芯片及其制作方法，涉及生物檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。首先基于襯底的一側(cè)制作包含柵電極層的芯片本體，然后基于柵電極層遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)制作過渡層，再基于過渡層遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)制作偶聯(lián)分子層；其中，偶聯(lián)分子層包括第一偶聯(lián)分子，最后沿偶聯(lián)分子層的表面偶聯(lián)經(jīng)預(yù)處理后的生物分子層，以制作生物電子芯片，其中，經(jīng)預(yù)處理后的生物分子層包括第二偶聯(lián)分子，第一偶聯(lián)分子與第二偶聯(lián)分子之間能夠進(jìn)行可逆反應(yīng)。本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N生物電子芯片及其制作方法具有提升了生物電子芯片的使用壽命，降低了使用成本的優(yōu)點(diǎn)。 |
