一種晶圓上鍍銀添加劑的制備方法
基本信息

| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011472019.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(公告)號(hào) | CN112593263A | 公開(公告)日 | 2021-04-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112593263A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-02 |
| 分類號(hào) | C25D3/46(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I | 分類 | 電解或電泳工藝;其所用設(shè)備〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 涂利彬;肖廣源 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 上海華友金裕微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州市科誼專利代理事務(wù)所 | 代理人 | 孫彬 |
| 地址 | 201700上海市青浦區(qū)盈港東路6666號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓上鍍銀添加劑的制備方法,該制備方法包括以下步驟:準(zhǔn)備原料、取適量的二甲基海因,按質(zhì)量比在攪拌槽中加入純水進(jìn)行攪拌;按質(zhì)量比加入一定量的表面活性劑、充分?jǐn)嚢瑁粩嚢韬玫娜芤航?jīng)過(guò)濾芯進(jìn)行過(guò)濾,得到低溫鍍銀添加劑;對(duì)低溫鍍銀添加劑成品進(jìn)行封裝儲(chǔ)藏;本發(fā)明中晶圓上鍍銀添加劑的制備方法,該制備方法避免了鍍銀使用過(guò)程中分解的氣體對(duì)人體傷害,達(dá)到環(huán)保要求,本添加劑使用方便,可在10?30℃正常電鍍,工藝簡(jiǎn)單,反應(yīng)穩(wěn)定,生產(chǎn)效率高,配完電鍍液就可以進(jìn)行電鍍,本產(chǎn)品電鍍出的制品在空氣中不發(fā)生氧化,本產(chǎn)品電鍍出的制品純鍍高、結(jié)晶細(xì)。?? |





