靶材背板及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011182839.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112323026A 公開（公告）日 2021-02-05
申請公布號 CN112323026A 申請公布日 2021-02-05
分類號 C23C14/34(2006.01)I;B23P15/00(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周磊;竇沛靜;張競中 申請（專利權(quán)）人 珠海和澤科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標事務所有限公司 代理人 張龍哺
地址 519045廣東省珠海市金灣區(qū)聯(lián)港工業(yè)區(qū)雙林片區(qū)虹輝5路7號廠房3棟第一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種靶材背板，包括：背板主體，正面設(shè)置有靶材，背面設(shè)置有流道，流道具有進液口和出液口，流道可供冷卻液流動；蓋板，設(shè)置于背板主體的背面并遮蓋流道；密封圈，設(shè)置于蓋板與所述流道之間，用于密封所述流道。使用時，可將靶材設(shè)置于背板主體的正面，使冷卻液可從位于背板主體背面的流道進液口流入，從出液口流出，冷卻液可將位于背板主體正面的靶材的熱量帶走，從而降低靶材在濺射鍍膜過程中的溫度，進而可提升鍍膜質(zhì)量。此外，設(shè)置于蓋板與流道之間的密封圈可對流道起到密封作用。本發(fā)明還公開了一種靶材背板的制作方法，可以使最終得到的靶材背板尺寸更為精確，且可有效減小靶材背板長期使用后的變形量。??