一種光路準(zhǔn)直調(diào)試系統(tǒng)和光路準(zhǔn)直調(diào)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110385348.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113109030A 公開(kāi)(公告)日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN113109030A 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) G01M11/02(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 虞天成;徐佳維;王俊;潘華東;俞浩;閔大勇;廖新勝 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州長(zhǎng)光華芯光電技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 薛異榮
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)昆侖山路189號(hào)科技城工業(yè)坊-A區(qū)2號(hào)廠房-1-102、2號(hào)廠房-2-203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光路準(zhǔn)直調(diào)試系統(tǒng)和光路準(zhǔn)直調(diào)試方法,光路準(zhǔn)直調(diào)試系統(tǒng)包括:光源;反射式布拉格光柵,所述反射式布拉格光柵的衍射角度可調(diào);位于所述光源和所述反射式布拉格光柵之間的準(zhǔn)直透鏡,所述準(zhǔn)直透鏡沿光路上的位置可調(diào);位于所述反射式布拉格光柵一側(cè)的探測(cè)單元;所述反射式布拉格光柵適于接收被所述準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直之后的光并衍射至探測(cè)單元。所述光路準(zhǔn)直調(diào)試系統(tǒng)評(píng)判光束的準(zhǔn)直性的準(zhǔn)確性提高。