一種晶圓棒周轉(zhuǎn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021695431.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213228812U | 公開（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213228812U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-18 |
| 分類號(hào) | B62B3/10;B62B3/04;B62B5/00 | 分類 | 無(wú)軌陸用車輛; |
| 發(fā)明人 | 王連文;張強(qiáng);婁中士;王立剛;郝小龍;王淼;周宏邦;賈海洋;李仕權(quán) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 內(nèi)蒙古中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 欒志超 |
| 地址 | 010070 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)寶力爾街15號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種晶圓棒周轉(zhuǎn)裝置，具有架體和置于所述架體上端面用于放置晶圓棒的若干放置槽，還具有：至少設(shè)置在兩個(gè)所述放置槽上端面的滑輪件；以及用于固定所述晶圓棒的固定帶；所述滑輪件被相對(duì)設(shè)置于所述放置槽上端面兩內(nèi)側(cè)面，并與所述晶圓棒外壁接觸；靠近所述晶圓棒底部一側(cè)的兩個(gè)所述滑輪件與所述晶圓棒的連接點(diǎn)與所述晶圓棒的切線夾角為銳角或直角；所述固定帶被設(shè)置在所述放置槽寬度兩側(cè)；推動(dòng)所述晶圓棒，并使其在所述滑輪件上沿所述架體長(zhǎng)度方向水平滑動(dòng)。本實(shí)用新型周轉(zhuǎn)裝置，可沿周轉(zhuǎn)裝置的長(zhǎng)度方向自由地水平推移晶圓棒，并可將晶圓棒穩(wěn)定地固定在周轉(zhuǎn)裝置上；提升晶圓棒移動(dòng)運(yùn)輸?shù)撵`活性，節(jié)約運(yùn)輸調(diào)整時(shí)間。 |
