一種高線性度垂直腔面激光器芯片的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110635957.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113484717A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113484717A 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R31/01（2020.01）I;H01S5/00（2006.01）I;B07C5/344（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄭君雄;鄭世進(jìn);崔雨舟;王青 申請（專利權(quán)）人 深圳市中科光芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京恒泰銘睿知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張靜
地址 518100廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)黃閣北路449號龍崗天安數(shù)碼創(chuàng)新園二號廠房B401-W
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及芯片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，且公開一種高線性度垂直腔面激光器芯片的制造方法，包括支撐機構(gòu)、檢測機構(gòu)，所述支撐機構(gòu)包括支撐座，所述支撐座的內(nèi)部固定連接有滑動腔座，所述支撐座的外表面活動連接有安裝盤，所述檢測機構(gòu)包括檢測板，所述檢測板的側(cè)表面活動連接有回收座，所述檢測板的外表面開設(shè)有檢測槽，還包括對接組件，所述對接組件包括壓力框，所述壓力框的內(nèi)部活動連接有擠壓簧架，所述壓力框的側(cè)表面活動連接有伸縮架，所述伸縮架的側(cè)表面活動連接有活動桿，所述活動桿的左右兩側(cè)均活動連接有連接繩。在使用時可以自動對芯片座進(jìn)行檢測，操作較為方便，能夠準(zhǔn)確的對芯片進(jìn)行檢測，且方便了對芯片的回收和篩選。