一種適用于不同厚度PVD涂層的活塞環(huán)PVD處理工藝及其設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110791513.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113512699A 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN113512699A 申請公布日 2021-10-19
分類號 C23C14/22（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張平山;王宗陽;徐建孫;王友愉;唐其華;楊燃 申請（專利權）人 華閩南配集團股份有限公司
代理機構 北京哌智科創(chuàng)知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 陳康
地址 353000福建省南平市高新區(qū)長沙高新園（延平區(qū)西芹村）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種適用于不同厚度PVD涂層的活塞環(huán)PVD處理工藝及其設備，其步驟具體如下：（1）、對活塞環(huán)的表面進行預處理；（2）、對活塞環(huán)進行預加熱；（3）、對活塞環(huán)進行清洗刻蝕；（4）、對活塞環(huán)進行相應厚度的PVD處理：（5）、完成活塞環(huán)的PVD處理工藝；（6）、對活塞環(huán)進行涂層質量檢查；該裝置包含有密閉工作空間、設置在所述密閉工作空間內的抽真空組件、設置在所述密閉工作空間內的放置組件、設置在所述密閉工作空間內的PVD處理組件和實現(xiàn)組件上下移動的升降組件；實現(xiàn)對活塞環(huán)的智能化PVD處理，達到降低工作人員的工作強度和保證活塞環(huán)的涂層質量的目的。