壓印模具的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910018231.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111427233A 公開（公告）日 2020-07-17
申請公布號 CN111427233A 申請公布日 2020-07-17
分類號 G03F7/00 分類 -
發(fā)明人 謝自民;王亞平;平財明;林濤 申請（專利權(quán)）人 蘇州藍(lán)沛光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 215316 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)城北開貴路11號3房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種壓印模具的制作方法，包括如下步驟：1)制作母版結(jié)構(gòu)，母版結(jié)構(gòu)的表面形成有多個第一凹槽結(jié)構(gòu)；2)基于母版結(jié)構(gòu)制作轉(zhuǎn)印模板，轉(zhuǎn)印模板的表面形成有多個凸起結(jié)構(gòu)；3)提供壓印模具基板；4)于壓印模具基板的表面形成壓印模具柔性材料層；5)基于轉(zhuǎn)印模板采用壓印工藝于壓印模具柔性材料層的表面形成多個第二凹槽結(jié)構(gòu)；6)將壓印模具柔性材料層固化；7)剝離轉(zhuǎn)印模板。本發(fā)明的壓印模具的制作方法可以提高母版結(jié)構(gòu)的利用率，制備工藝簡單，壓印模具內(nèi)的應(yīng)力較小，不會存在爆裂的風(fēng)險。