一種用于電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的分光色散裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910862705.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110530516A 公開(kāi)（公告）日 2019-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN110530516A 申請(qǐng)公布日 2019-12-03
分類(lèi)號(hào) G01J3/02;G01J3/18;G01J3/28;G01J3/443;G01N21/73 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張勇;趙珍陽(yáng);王世功;許玉興;田中朝;張春梅;張麗玫 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東東儀光電儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 煙臺(tái)上禾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曲姮
地址 264000 山東省煙臺(tái)市高新區(qū)創(chuàng)新路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種用于電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的分光色散裝置，按光路傳播方向包括匯聚透鏡、分光鏡和光柵；所述分光鏡為半反半透棱鏡。所述光柵為兩個(gè)，分別為平場(chǎng)光柵和平面光柵。光源發(fā)出的光信號(hào)經(jīng)匯聚透鏡聚焦后，通過(guò)半反半透棱鏡將光分成兩束，分別為透射光和反射光，其中透射光經(jīng)過(guò)平場(chǎng)光柵色散分光，反射光經(jīng)過(guò)平面光柵色散分光。