一種用于準(zhǔn)確定位激光誘導(dǎo)擊穿光譜聚焦位置的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810819042.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110749546A 公開（公告）日 2020-02-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN110749546A 申請(qǐng)公布日 2020-02-04
分類號(hào) G01N21/01;G01N21/71 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張殿凱;張勇;劉麗媛;張煦;王世功;史磊;田中朝;許玉興;趙珍陽(yáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東東儀光電儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 國(guó)合通用測(cè)試評(píng)價(jià)認(rèn)證股份公司;山東東儀光電儀器有限公司
地址 100000 北京市懷柔區(qū)雁棲經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)興科東大街11號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于準(zhǔn)確定位激光誘導(dǎo)擊穿光譜聚焦位置的裝置，可用于激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析過程中的準(zhǔn)確定位聚焦。該裝置由負(fù)透鏡、正透鏡、反射鏡、聚焦透鏡和激光二級(jí)管指示燈組成，激光光束依次經(jīng)負(fù)透鏡、正透鏡和反射鏡，再經(jīng)聚焦透鏡聚焦后與樣品相互作用產(chǎn)生等離子體，將激光二極管指示燈所形成的十字叉絲的中心位置與激光和樣品相互作用的位置相重合，十字叉絲的中心位置即為激光燒蝕樣品的位置。通過該裝置可以精確控制激光與物質(zhì)相互作用時(shí)聚焦?fàn)顟B(tài)，即光束聚焦斑點(diǎn)相對(duì)于樣品的位置，使激光與物質(zhì)能夠更好的耦合，提高激光誘導(dǎo)擊穿光譜定性及定量分析性能。