光譜儀氬氣激發(fā)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410068117.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103868892B 公開（公告）日 2016-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN103868892B 申請(qǐng)公布日 2016-09-14
分類號(hào) G01N21/63(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張乃州;趙珍陽;邱平;高國棟;李香宇;王世功;田中朝;許玉興 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東東儀光電儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京雙收知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 煙臺(tái)東方分析儀器有限公司;山東東儀光電儀器有限公司
地址 264003 山東省煙臺(tái)市萊山區(qū)金都路10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光譜儀氬氣激發(fā)系統(tǒng)，包括強(qiáng)吹氣路、主氣路、側(cè)氣路、公共氣路、快門控制氣路，上述各氣路設(shè)置在光譜儀氬氣激發(fā)系統(tǒng)的集成氣路板上；所述強(qiáng)吹氣路的氣流入口為氣源，氣流出口為第一出氣口；所述公共氣路的氣流入口為氣源，并連接所述快門控制氣路；所述主氣路的氣流入口在所述公共氣路上，并設(shè)置有氬氣表，氣流出口為第一出氣口；所述側(cè)氣路的氣流入口在所述公共氣路上，氣流出口為第二出氣口；所述快門控制氣路的氣流出口為第三出氣口；上述各氣路上分別至少設(shè)置有一個(gè)電磁閥。本發(fā)明使得光譜儀氬氣激發(fā)系統(tǒng)能夠改變壓強(qiáng)、有不同氣路設(shè)計(jì)且氣密性良好，提高了氬氣激發(fā)系統(tǒng)的精度。