陣列基板、陣列基板制備方法及顯示面板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110531297.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113270425A 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN113270425A 申請公布日 2021-08-17
分類號 H01L27/12（2006.01）I;H01L27/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄔可榮;鄭在紋;袁海江 申請（專利權(quán)）人 長沙惠科光電有限公司
代理機構(gòu) 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 晏波
地址 410300湖南省長沙市瀏陽經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)康平路109號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種陣列基板、陣列基板制備方法及顯示面板，陣列基板制備方法包括：在基板的第一表面的非開口區(qū)域沉積無機薄膜，其中，第一表面為基板中背向基底的表面，無機薄膜為無機薄膜或者氮化硅薄膜；在無機薄膜上形成像素定義層，并去除非開口區(qū)域中的過孔區(qū)域處的像素定義層；通過濕法刻蝕工藝蝕刻過孔區(qū)域處的無機薄膜，以使無機薄膜在像素定義層邊緣發(fā)生側(cè)向侵蝕現(xiàn)象；蒸鍍有機發(fā)光二極管層；在蒸鍍形成有機發(fā)光二極管層后，蒸鍍陣列基板的陰極。本發(fā)明通過工藝將有機發(fā)光二極管的陰極與輔助電級接觸，實現(xiàn)了輔助陰極，可以改善陰極電壓分布不均，以提高顯示面板亮度均一性。