一種精密金屬掩膜版張網拉伸精確度檢測方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110677014.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN113295093A | 公開（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請公布號 | CN113295093A | 申請公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號 | G01B11/00;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 錢超;楊柯;牛恩眾;余強根 | 申請（專利權）人 | 常州高光半導體材料有限公司 |
| 代理機構 | 南京天華專利代理有限責任公司 | 代理人 | 徐冬濤 |
| 地址 | 213311 江蘇省常州市溧陽市埭頭鎮(zhèn)渡頭街8-2號13幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種精密金屬掩膜版張網拉伸精確度檢測方法，本發(fā)明方法在拉伸前的掩膜版上設置激光標記點，通過實際點與理論點之間的距離來檢測是否合格，可以在掩膜版用于蒸鍍之前對掩膜版張網精確度進行檢測，防止掩膜版投入使用后才發(fā)現張網不合格導致的蒸鍍材料以及設備使用的能源浪費，而且本發(fā)明方法操作簡單，檢測效率高。 |
