金屬掩膜版切割防護設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110255638.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113024098A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113024098A 申請公布日 2021-06-25
分類號 C03B33/03;B08B17/02 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 錢超;楊柯;牛恩眾;余強根 申請（專利權）人 常州高光半導體材料有限公司
代理機構 南京縱橫知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 董成
地址 213311 江蘇省常州市溧陽市埭頭鎮(zhèn)渡頭街8-2號13幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了金屬掩膜版切割防護設備，涉及掩膜版切割防護設備技術領域，具體為金屬掩膜版切割防護設備，包括第一伺服電機，所述第一伺服電機的輸出軸上固定套接有驅動盤，所述驅動盤正面的邊緣處固定連接有驅動柱，所述驅動柱的外表面活動套接有驅動套桿的一端。該金屬掩膜版切割防護設備，通過卡爪的上表面為平整的矩形，所述卡爪上表面向內(nèi)的一側開設有固定槽口與第二液壓伸縮桿、承載臺、升降套管、棘輪之間相互配合能夠使得被撥動桿運輸過來的掩膜版被承載臺運輸?shù)娇ㄗι?，能夠實現(xiàn)切割掩膜版在防護機箱的內(nèi)腔中和取拿掩膜版在防護機箱的外側，可以有效的解決切割掩膜版時會迸濺碎料而存在隱患。