一種針對(duì)長(zhǎng)桿狀工件進(jìn)行PECVD的夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210274903.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114351121A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114351121A 申請(qǐng)公布日 2022-04-15
分類號(hào) C23C16/458（2006.01）I;C23C16/515（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 毛昌海;祖全先;帥小鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 艾瑞森表面技術(shù)（蘇州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韓臻臻
地址 215331江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮(zhèn)金陽(yáng)東路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種針對(duì)長(zhǎng)桿狀工件進(jìn)行PECVD的夾具，包括芯軸、套設(shè)且固定在芯軸上的第一定位板與第二定位板、設(shè)置于第一定位板上的若干定位筒以及固定在芯軸上的驅(qū)動(dòng)盤(pán)，所述定位筒圍繞芯軸軸芯設(shè)置，所述芯軸不帶電；或者，當(dāng)芯軸帶電時(shí)，在芯軸上設(shè)隔絕件，所述隔絕件將芯軸的工作區(qū)完全遮蔽，所述隔絕件不帶電。通過(guò)使芯軸不帶電或者在芯軸帶電時(shí)，在芯軸外套設(shè)不帶電隔絕件，能夠?qū)崿F(xiàn)芯軸不再輝光放電，桿狀工件的輝光放電區(qū)不再有重疊區(qū)域，則無(wú)法形成有效的空心陰極效應(yīng)，在不改變桿狀工件與芯軸距離的同時(shí)增加桿狀工件的裝夾密度，也能夠保證通過(guò)脈沖輝光PECVD形成的涂層表面均勻、厚度一致，大大提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。