一種耐腐蝕鍍膜工藝及其制得的耐腐蝕鍍膜涂層

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110445447.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113151826B 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN113151826B 申請公布日 2022-06-17
分類號 C23C28/00（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/56（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 毛昌海;祖全先 申請（專利權(quán)）人 艾瑞森表面技術(shù)（蘇州）股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮(zhèn)金陽東路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種耐腐蝕鍍膜工藝及其制備得到的耐腐蝕鍍膜涂層，包括：對金屬基體表面進行預(yù)處理；在金屬基體表面依次第一沉積Cr結(jié)合層、第一Cr/WC過渡層、第一WC?C：H過渡層，再采用PECVD技術(shù)在所述第一WC?C：H過渡層表面沉積含氫DLC層；用輝光蝕刻工藝蝕刻所述含氫DLC層背離所述第一WC?C：H過渡層的表面；在所述含氫DLC層背離所述第一WC?C：H過渡層的表面依次沉積第二WC?C：H過渡層、第二Cr/WC過渡層、表層，形成所述耐腐蝕鍍膜。本發(fā)明通過采用含氫DLC層作為中間層，具有同時增加涂層的抗腐蝕能力和增強結(jié)合強度的優(yōu)點。