一種四面體非晶碳復(fù)合涂層及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010390073.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111500982B 公開（公告）日 2022-04-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN111500982B 申請(qǐng)公布日 2022-04-22
分類號(hào) C23C14/06（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 毛昌海;祖全先 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 艾瑞森表面技術(shù)（蘇州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐典
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮(zhèn)金陽(yáng)東路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種四面體非晶碳復(fù)合涂層，包括：底部結(jié)合層：為CNX薄膜；表面功能層：為高SP3碳雜化鍵含量的四面體非晶碳薄膜；在所述底部結(jié)合層下方設(shè)有合金基材，所述底部結(jié)合層上方設(shè)有表面功能層；其成本較低、工藝流程簡(jiǎn)單，顯著提升了膜基結(jié)合強(qiáng)度，另外由于其具有比其他類金剛石薄膜更高的硬度，所以減磨耐磨效果更佳優(yōu)良。