一種針對長桿狀工件進行PECVD的夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210274903.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114351121B 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN114351121B 申請公布日 2022-06-14
分類號 C23C16/458（2006.01）I;C23C16/515（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 毛昌海;祖全先;帥小鋒 申請（專利權）人 艾瑞森表面技術（蘇州）股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州威世朋知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 215331江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮(zhèn)金陽東路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種針對長桿狀工件進行PECVD的夾具，包括芯軸、套設且固定在芯軸上的第一定位板與第二定位板、設置于第一定位板上的若干定位筒以及固定在芯軸上的驅(qū)動盤，所述定位筒圍繞芯軸軸芯設置，所述芯軸不帶電；或者，當芯軸帶電時，在芯軸上設隔絕件，所述隔絕件將芯軸的工作區(qū)完全遮蔽，所述隔絕件不帶電。通過使芯軸不帶電或者在芯軸帶電時，在芯軸外套設不帶電隔絕件，能夠?qū)崿F(xiàn)芯軸不再輝光放電，桿狀工件的輝光放電區(qū)不再有重疊區(qū)域，則無法形成有效的空心陰極效應，在不改變桿狀工件與芯軸距離的同時增加桿狀工件的裝夾密度，也能夠保證通過脈沖輝光PECVD形成的涂層表面均勻、厚度一致，大大提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。