超結功率器件及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910693299.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110400833A 公開（公告）日 2019-11-01
申請公布號 CN110400833A 申請公布日 2019-11-01
分類號 H01L29/06（2006.01）I; H01L21/336（2006.01）I; H01L29/78（2006.01）I; H01L29/41（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊東林; 陳文高; 劉俠 申請（專利權）人 上海昱率科技有限公司
代理機構 北京中知法苑知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 上海昱率科技有限公司
地址 215010 江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號2號樓2203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開涉及一種超結功率器件，包括：第一導電類型的襯底層；第一導電類型的外延層，設置于所述襯底層上；第二導電類型的多個第一體區(qū)和多個第二體區(qū)，所述多個第一體區(qū)和所述多個第二體區(qū)周期排列設置在所述外延層中，所述第一體區(qū)為柱狀體區(qū)；多個分段柵，周期排列設置在所述外延層上，每個所述分段柵包括第一柵部分和第二柵部分。