一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021526806.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212713841U | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請公布號 | CN212713841U | 申請公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號 | C30B15/04(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 鄭偉揚;王思鋒 | 申請（專利權(quán)）人 | 寧夏協(xié)鑫晶體科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 江蘇圣典律師事務(wù)所 | 代理人 | 徐芝強;肖明芳 |
| 地址 | 755099寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中衛(wèi)工業(yè)園區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝，包括聚四氟乙烯材質(zhì)的漏斗，以及石英材質(zhì)的導(dǎo)流管；所述漏斗的底部設(shè)有內(nèi)螺紋，所述導(dǎo)流管的頂部設(shè)有外螺紋，漏斗與導(dǎo)流管通過內(nèi)外螺紋可拆卸的連接。導(dǎo)流管的底部設(shè)有石英材質(zhì)下口加強環(huán)；導(dǎo)流管靠近漏斗的端部設(shè)有聚四氟乙烯材質(zhì)的保護環(huán)，保護環(huán)下方還設(shè)有石英材質(zhì)的支撐臺。該摻雜工裝采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，其上部為聚四氟乙烯漏斗，下部為石英導(dǎo)流管，兩者采用螺紋連接可有效降低采購成本，且易于拆卸、組裝及清洗。石英管損壞后僅更換下部石英管降低了使用成本。該工裝選用材料均為高純度材料可有效避免該工裝對于多晶硅原料的污染。?? |
