一種晶體生長電源參數(shù)的自適應(yīng)調(diào)控方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210014118.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114046669A 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN114046669A 申請公布日 2022-02-15
分類號 F27D19/00（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 劉揚;盧衛(wèi)國;許勇 申請（專利權(quán)）人 江蘇東方四通科技股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州潤桐嘉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳筱娟
地址 215600江蘇省蘇州市張家港市楊舍鎮(zhèn)張家港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)（南區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶體生長電源參數(shù)的自適應(yīng)調(diào)控方法及系統(tǒng)，所述方法包括：根據(jù)第一晶體生長電源，獲得第一控制參數(shù)；獲得第一粒徑特征信息；將第一粒徑特征信息和第一溫度信息輸入粒徑變化趨勢預(yù)測模型，獲得第一粒徑變化趨勢信息；依據(jù)預(yù)設(shè)排序規(guī)則對所述趨勢變化概率進行排序，獲得第一排序結(jié)果；根據(jù)第一排序結(jié)果，獲得第一粒徑變化趨勢；判斷所述第一粒徑變化趨勢是否滿足預(yù)設(shè)粒徑變化趨勢；若滿足所述預(yù)設(shè)粒徑變化趨勢，控制所述第一晶體生長電源輸出所述第一電壓幅值、所述第一電流幅值、所述第一脈沖頻率。解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在未考慮到晶體本身狀態(tài)變化及晶體爐內(nèi)的溫度差異性，導(dǎo)致靈活度較低，燒結(jié)失敗的概率增加的技術(shù)問題。