一種刻蝕裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620973587.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN206098354U 公開（公告）日 2017-04-12
申請公布號(hào) CN206098354U 申請公布日 2017-04-12
分類號(hào) H01L21/306;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊澤新 申請（專利權(quán)）人 貴州乾萃科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李進(jìn)
地址 563000 貴州省遵義市新蒲經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)辦公室二樓202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種刻蝕裝置。本實(shí)用新型刻蝕裝置包括1個(gè)或多個(gè)刻蝕槽和過濾槽；所述過濾槽中設(shè)有過濾裝置；所述過濾槽分別與每個(gè)刻蝕槽通過管路相連；所述過濾槽與循環(huán)裝置通過管路相連，所述循環(huán)裝置分別與每個(gè)刻蝕槽通過管路相連。本實(shí)用新型刻蝕裝置通過循環(huán)裝置，使刻蝕液循環(huán)流動(dòng)，僅清理過濾槽中的廢渣即可。本實(shí)用新型刻蝕裝置具有結(jié)構(gòu)簡單，可循環(huán)利用刻蝕液，能夠提高生產(chǎn)效率和刻蝕液的利用效率等優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型刻蝕裝置的使用方法簡單，可連續(xù)進(jìn)行刻蝕工藝，能夠提高生產(chǎn)效率和刻蝕液的利用效率。