一種擴(kuò)散焊接型AlSc合金靶材的一次成型制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011617741.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113278932A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN113278932A 申請(qǐng)公布日 2021-08-20
分類(lèi)號(hào) C23C14/35（2006.01）I;B22D19/00（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C18/00（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曹曉萌;丁照崇;李勇軍;賈倩;李利利;曲鵬;杜文路;陳明;熊曉東;龐欣 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 有研億金新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠(chéng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃家俊
地址 102200北京市昌平區(qū)超前路33號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了屬于磁控濺射靶材制造技術(shù)領(lǐng)域的一種擴(kuò)散焊接型AlSc合金靶材的一次成型制備方法。本發(fā)明公開(kāi)的擴(kuò)散焊接型AlSc合金靶材的制備方法，采用熔煉工藝成型，將配比好的合金熔液直接澆注在焊接面有燕尾槽并加鍍層的背板上，另外一面通冷卻水冷卻，通過(guò)背板燕尾槽的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)靶材近尺寸成型及與背板擴(kuò)散焊接一體成型，最終AlSc合金靶材的焊合率≥99％，焊接強(qiáng)度≥10MPa。通過(guò)澆注一次成型擴(kuò)散焊接靶材，減少繁瑣的靶面成型及熱等靜壓擴(kuò)散焊接，大大降低成本，并利用背板焊接面加鍍層，防止焊接面生成脆性相，得到焊接強(qiáng)度滿(mǎn)足使用要求的產(chǎn)品。