一種蒸發(fā)冷卻微結(jié)構(gòu)的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110479607.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113060701A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN113060701A 申請公布日 2021-07-02
分類號 B81C1/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 徐輝 申請（專利權(quán)）人 蘇州華易航動力科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州樂贏知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王悅
地址 215400江蘇省蘇州市太倉市大連東路36號工業(yè)園區(qū)12號A3區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)冷卻微結(jié)構(gòu)的制備方法，包括以下步驟：在基片上表面電沉積一層第一金屬，形成沉積層；將沉積層的表面進(jìn)行精密拋磨，同時(shí)，保證一定厚度的沉積層；經(jīng)拋磨后的沉積層表面涂覆一層光刻膠；將基片放置在光刻機(jī)載物臺上，用曝光掩膜板進(jìn)行曝光；將曝光處理后的基片放入顯影液中進(jìn)行顯影，顯影后進(jìn)行清洗、干燥；干燥后基片的沉積層的表面沉積一層第二金屬；再用溶劑對多余的光刻膠進(jìn)行溶解；在光刻膠溶解的位置中加入刻蝕液，待溶解至指定位置倒掉多余的刻蝕液，再經(jīng)清洗、干燥，得到微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明采用電沉積方法，實(shí)現(xiàn)高效、快速加工大面積的微結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)；能夠?qū)崿F(xiàn)在同一個(gè)基片上同時(shí)加工出多個(gè)微結(jié)構(gòu)。