真空硒化裝置和真空硒化的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510712505.5 申請日 -
公開（公告）號 CN105256285B 公開（公告）日 2018-10-23
申請公布號 CN105256285B 申請公布日 2018-10-23
分類號 C23C14/58;H01L31/032 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 常有軍;黃福林;劉遠宏 申請（專利權）人 河北曹妃甸漢能薄膜太陽能有限公司
代理機構 北京清亦華知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 河北曹妃甸漢能薄膜太陽能有限公司
地址 063200 河北省唐山市曹妃甸工業(yè)區(qū)市政大廈5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種真空硒化裝置和真空硒化的方法。該裝置包括：本體，所述本體內(nèi)限定出真空硒化空間；硒蒸汽回收單元，所述硒蒸汽回收單元設置在所述本體的內(nèi)壁上；以及真空泵，所述真空泵設置在所述本體的外壁上，并且所述真空泵與所述硒蒸氣回收單元相連。由此，可以將硒蒸汽回收單元與真空泵分開設置，進而可以避免對真空泵進行頻繁的周期性清理維護，進而可以提高該裝置的生產(chǎn)效率。