碲鋅鎘探測(cè)器與碲鋅鎘探測(cè)器的柵極鈍化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210174634.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114242846B 公開(kāi)（公告）日 2022-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN114242846B 申請(qǐng)公布日 2022-05-17
分類(lèi)號(hào) H01L31/18（2006.01）I;H01L31/119（2006.01）I;C09G1/02（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 段志昱;楊帆;湯三奇;盛麗娜;賀琪;賈寧波;康丹妮;席守智 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 陜西迪泰克新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 712000陜西省咸陽(yáng)市西咸新區(qū)秦漢新城周陵新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)天工一路東段8號(hào)-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種碲鋅鎘探測(cè)器與碲鋅鎘探測(cè)器的柵極鈍化方法，所述碲鋅鎘探測(cè)器的柵極鈍化方法包括：對(duì)制備有陽(yáng)極的碲鋅鎘晶片的上表面進(jìn)行光刻處理，在陽(yáng)極的表面覆蓋第一厚度的光刻膠層，將柵極露出；對(duì)碲鋅鎘晶片的上表面進(jìn)行化學(xué)拋光處理，去除柵極的表面的富碲層，基于化學(xué)拋光的反應(yīng)產(chǎn)物在柵極的表面形成高阻鈍化層，并使得陽(yáng)極的表面保留第二厚度的光刻膠層；其中，第一厚度大于或等于第二厚度，第二厚度大于零。本發(fā)明處理工藝簡(jiǎn)單，能夠在保護(hù)陽(yáng)極的前提下實(shí)現(xiàn)對(duì)柵極的鈍化處理，可有效降低碲鋅鎘探測(cè)器的漏電流，實(shí)現(xiàn)在較高的偏壓下對(duì)碲鋅鎘探測(cè)器進(jìn)行能譜測(cè)試，確保碲鋅鎘探測(cè)器達(dá)到較高的能譜分辨率。